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ポリマー

低温成膜低熱膨張ポリイミド

低温成膜低熱膨張ポリイミドの画像

☆低温成膜で低熱膨張性を実現
WGv-2400シリーズ(GBLタイプ):より低温成膜
WGv-2500シリーズ(NMPタイプ):より低熱膨張係数

特徴

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◆ 従来のポリイミドより低温で成膜できることにより、熱応力を小さくでき、エポキシ等と同様の使用が可能となり、加えて高生産効率、省力化が可能。
※WGv-2400シリーズ(GBLタイプ) ・・・成膜温度180~200℃
※WGv-2500シリーズ(NMPタイプ) ・・・成膜温度250℃
◆ 熱膨張係数2~20ppm/Kをグレード化(各基材の熱膨張係数にマッチングが可能)
◆ ワニスの室温保存が可能。

用途

用途の画像

◆ 層間絶縁膜(半導体素子用、多層プリント配線基板用、パッケージ基板用)
◆ 半導体素子保護膜
◆ バッファーコート膜
◆ シリコン・ガラスインターポーザーの絶縁膜

特性

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表 WGv-2401,2501, 市販PI系ワニスの熱特性、膜物性
【低温成膜】 他社品 弊社製品
CTE約18mm品(Cu基板対応品):成膜温度 他社品350℃ → 弊社製品180℃
CTE約 3mm品(Si 基板対応品):成膜温度 他社品450℃ → 弊社製品250℃